半导体工艺的可靠帮手——日本ASAP 匀胶、显影、撕金机介绍

2013-06-25

匀胶机、显影机


可以对应1000wf/day以上的处理量 (另外提供小型或研发型匀胶机、显影机)


  2台搭载双手的搬运机器手臂。与从前的指数流程装置不一样的2台机器手臂,考虑到用户的生产流程流通,因此对生产流程单元机器手臂的配置进行改装,所以实现了省空间、高效率搬运的效果。能设置最大7个生产流程单元, 多层梯型的烘干组件最大能够扩充到5段。另外, 为了最大限度发挥处理能力,使用了与生产流程时间相协调的软件来对应1000wf/day以上的处理量。

机器性能:
膜厚度均匀性:在PR厚度为8000~50000Å时的均匀性在±1%之内
烘烤/冷却组件均匀性:在50~200℃时,烘烤板表面温度在±1%之内
          冷却板表面温度 23.0±0.5℃
匀胶光刻胶粘度:MAX200cp(可以交换泵至高粘度)

撕金机


对应600wf/day以上的处理量(另外提供小型或研发型撕金机)


可装载三或者四个平台,并且可对应600wf/day以上的处理量。并且能在最大四个压力设定下自动更换使用, 喷气管嘴的扫描速度和动作范围有十个模式,可以设定五十种处理方法。可以解决DIP方式解决不了的再附着·内面肮脏·剥离残渣等所有问题。

标准规范
  1. 机器的类型是自旋进程和干进干出进程。
  2. 为除去金属和抗蚀剂以及清洗和自旋干燥,设置了多个介面。
  3. 高压释放剥离液 (Max 20Mpa)。
  4. 晶圆搬运由两个机器手臂完成 (日本 JEL公司制造)。

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