半导体设备

  东方集成应用集成事业部专注于半导体产品市场,可提供包括等离子沉积、刻蚀、清洗、去胶、原子层沉积、快速热处理等多种半导体工艺设备及半导体特性参数分析、表面轮廓测量、椭偏仪等多种半导体测试设备,提供全面的服务。

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东方集成携手Femto推出等离子体表面处理、表面清洗、Parylene镀膜
半导体行业盛会SEMICON China,相约N2 2703展台
东方集成与您相约SEMICON China 2016展览会
东方集成携手Femto公司推出专业的等离子表面处理系统
SENTECH专区:等离子刻蚀、沉积设备、椭偏仪、反射膜厚仪

半导体设备品牌索引

公司 主要产品 概况
SENTECH 光学检测设备:各类激光、光谱椭偏仪,膜厚测试仪等;
等离子加工设备:等离子刻蚀(ICP、RIE)、沉积(PECVD、ICPECVD),原子层沉积(ALD)。
光学检测设备可测量膜层折射率、厚度等信息,快速可靠;等离子加工设备可满足各种半导体材料在器件工艺中的刻蚀沉积要求。
FEMTO 等离子清洗机、等离子去胶机、派瑞林镀膜机 小型等离子设备,性价比高,也可实现基本RIE、ICP设备功能。
Enli(光焱) 各类CCD、CMOS图像传感器及太阳能电池测试系统及辅助系统,包括量子效率测试仪、光谱响应测试仪、LED发光特性测试系统、3A级太阳能模拟器、有机样品探针台等。 台湾光焱是目前唯一一家在光谱响应及量子效率测试校准方面取得ISO-17025认证的制造商,其各类测试系统已经在多所全球著名太阳能电池及光电器件研究机构内使用。
KEITHLEY 4200半导体参数测试分析仪及各类探针台。 模块化设计,可测量IV、CV及高频特性下参数。
Alpsitec 化学机械抛光设备(CMP) 小型手动或多模块自动设计,适用于高校、研究所和小型生产客户。
confovis 3D表面非接触轮廓仪 特有的非共聚焦成像技术,消除了针孔旋转风险及机械移动部件,可在震动环境下实现准确测量。
Fortune 真空焊接炉、真空热处理炉 可实现真空或保护气体环境下的高温处理

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