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SENTECH Cluster Configuration 多腔室系统

Cluster Configuration
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SENTECH Depolab200 经济型等离子增强化学气相沉积设备(可升级)

Depolab200
经济型等离子增强化学气相沉积设备(可升级)
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SENTECH SI500D ICPECVD(ICP-PECVD)电感耦合增强型等离子沉积系统

SI500D
ICPECVD(ICP-PECVD)电感耦合增强型等离子沉积系统
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SENTECH SI500PPD 平行平板式等离子增强PECVD沉积设备

SI500PPD
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SENTECH SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统

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SENTECH RIE SI591 平板电容式反应离子刻蚀机

RIE SI591
平板电容式反应离子刻蚀机
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SENTECH Etchlab200 经济型反应离子刻蚀机(可升级)

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SENTECH PE-ALD 等离子体增强--原子层沉积

PE-ALD
等离子体增强--原子层沉积
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SENTECH FTPadv inline NIR 反射式在线膜厚测量仪

FTPadv inline NIR
反射式在线膜厚测量仪
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SENTECH FTPadv inline 反射式在线膜厚测量仪

FTPadv inline
反射式在线膜厚测量仪
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