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SENTECH Etchlab200 经济型反应离子刻蚀机(可升级)

Etchlab200
经济型反应离子刻蚀机(可升级)
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SENTECH SI500 电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统

SI500
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SENTECH SI500D ICPECVD(ICP-PECVD)电感耦合增强型等离子沉积系统

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Keithley S500 自动参数测试系统

S500
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Keithley 2600-PCT-xB 大功率半导体器件测试系统

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Keithley 4200-SCS 半导体特性分析系统

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FEMTO TouchFlux 等离子表面处理系统

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FEMTO Plasma WideFlux-B 等离子表面处理系统

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FEMTO Plasma WideFlux-S 等离子表面处理系统

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FEMTO COVANCE-MPR 等离子表面处理系统

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