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东方集成与您相约SEMICON China 2016展览会
 

  东方集成携手德国SENTECH、韩国Femto、台湾光焱等国内外知名半导体工艺设备和检测仪器供应商,参展Semicon China 2016,向广大新老客户展示我们在半导体行业的发展。现场有专人接待,解答产品和技术相关问题、并欢迎任何形式的商务合作洽谈。

  东方集成展位号:N2馆 2703号

1   韩国Femto C-series等离子清洗机
韩国Femto C-series等离子清洗机

  韩国Femto C-series等离子清洗机设计紧凑,经济灵活。可快速清洁器件表面的有机污染物,也可用于表面改性处理。

2   韩国Femto开发的新产品——LAVIDA 派瑞林(Parylene)镀膜仪
  LAVIDA派瑞林镀膜仪可以进行高均匀性镀膜,保证膜层无针孔覆盖,无需后续操作可直接使用。该设备可形成派瑞林微通道及派瑞林膜,广泛应用于纳米及生物相关领域,可进行芯片涂层保护、医疗器材的钝化处理、档案及艺术品的保护等,同时可制造生物传感器。
LAVIDA 派瑞林(Parylene)镀膜仪

  LAVIDA派瑞林镀膜仪采用Femto Science自主设计的系统,具有:

  • 优异的镀膜均匀性
  • 精确膜厚控制(石英天平秤)
  • 拉伸模式的二聚体加载室
  • 易于控制的用户操作界面,支持全自动及手动操作的触摸屏模式
  • 可选多种气化器的连续沉积
3   台湾光焱光电传感器/探测器测量评价系统MV-IS

  光焱科技的MV-IS系统是专门针对光电传感器/探测器之量子效率测量所开发,利用专利的均匀光技术比传统积分器提供更强的光强,可以测量单一像素的量子效率/光谱响应/IPCE以及整个芯片的相机参数。

◆ 应用 CCD相机
CMOS相机
紫外/红外传感器
其他光电器件
◆ 特点 独家的均匀光系统,超高单色光光强
实现全阵列像素测量
实现50微米以下尺寸单点像素器件的测量
发散角度小于5度的准直单色光
◆ 主要测量参数 量子效率/光谱响应
灵敏度
饱和度 
最小可侦测照射光子数
动态范围
暗电流
线性度与线性误差LE
光电流/暗电流响应不均匀性
    东方集成应用集成事业部专注于半导体产品市场,可提供包括等离子沉积、刻蚀、清洗、去胶、原子层沉积、快速热处理等多种半导体工艺设备及半导体特性参数分析、表面轮廓测量、椭偏仪等多种半导体测试设备,了解详细情况请 点击这里 或致电400-650-5566  
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